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클린 룸 테스트 방법 및 프로세스

번호 검색 :55     저자 :사이트 편집기     게시: 2023-08-03      원산지 :강화 된

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깨끗한 실내 테스트 상태는 세 가지 범주로 나눌 수 있습니다.

1, 깨끗한 실의 빈 상태 시설은 모든 파이프 라인이 연결되어 있고 러닝하지만 생산 장비, 재료 및 생산 요원이 없습니다.

2, STATIC은 생산 장비에 설치된 청정 실의 모든 시설에 건축되어 왔으며 공급 업체는 원거리 회전을 테스트하는 방법을 소유자가 동의했지만 현장에서 생산 담당자는 없습니다.

3, 국가를 운영하는 방법의 조항과 규정 된 작업 방식으로 존재하는 직원의 조항에 따른 역동적 인 시설.


클린 룸 테스트 과정

사용 된 모든 기기 및 장비의 결정을 규정에 따라 식별, 보정 또는 보정해야합니다. 측정하기 전에 시스템, 깨끗한 실, 기계 실 등은 포괄적 인 청소, 청소 및 시스템 조정은 일정 시간 동안 지속적으로 실행 된 다음 누출 감지 및 기타 측정 항목이어야합니다. 깨끗한 실을 측정하는 절차는 다음과 같습니다.

송풍기 공기 부는 → 실내 청소 → 공기 부피 조정 → 중간 필터 설치 → 고효율 필터 설치 → 시스템 작동 → 고효율 필터의 누출 감지 → 공기 부피 조정 → 실내 정적 압력 차이 조정 → 온도 조정 및 습도 → 평균 속도의 깨끗한 방 단면의 단일 위상 흐름, 실내 청결의 고르지 않은 결정의 속도 → 박테리아 플랑크톤 박테리아의 실내 측정 및 정착 된 박테리아 → 작업 및 조정과 관련된 생산 장비.


테스트 기준

사양, 도면, 디자인 문서 및 장비의 기술 데이터를 포함합니다. 다음 두 가지 범주로 나뉩니다.

1, 디자인 클래스 디자인 문서, 지원 문서의 설계 변경 및 관련 계약, 제작 된 도면;

2, 장비의 기술 정보.


테스트 방법 및 결과 결정

1 speed 공기량 또는 풍속 테스트

(1) 계측 및 환경 측정 기기

임펠러 anmometer, 핫 볼 일속계, bitou, 마이크로 압력계, 공기 부피 후드. 실온 또는 설계 온도에서의 주변 온도.

(2) 테스트를위한 설계 요구 사항이있는 영역의 샘플링.

(3) 공기량 및 풍속 감지는 먼저 정제되어야하며, 다양한 효과는 공기량 및 풍속 조건의 설계에 있어야합니다.

(1) 측정 된 공기 부피 값의 난류 흐름 깨끗한 실내 시스템은 각 설계 공기 볼륨 값보다 크지 만 20%를 초과해서는 안됩니다. 새로운 공기 부피와 새로운 공기 부피 간의 차이의 설계는 새로운 공기량 ± 10%의 설계를 초과해서는 안됩니다. 각 공기 배출구의 실내 공기량과 각각의 설계 공기 부피 차이는 설계 공기 부피의 ± 15%를 초과해서는 안됩니다.

(2) 단방향 층류 흐름 깨끗한 방 측정 평균 실내 공기 속도는 설계 공기 속도보다 크지 만 20%를 초과해서는 안됩니다. 총 측정 된 신선한 공기량과 새로운 공기량 차이의 설계는 새로운 공기량 ± 10%의 설계를 초과해서는 안됩니다.

2, 실내 정적 압력 차이 테스트

(1) 기기 및 장비 및 환경 측정 기기 경사 미세 기상, 디지털 마이크로 마이크로 미터 등. 실온 또는 설계 온도의 주변 온도.

(2) 테스트를 구현하기위한 설계 요구 사항이있는 다양한 인접 영역의 샘플링.

(3) 기술 요구 사항 정적 압력 차이 테스트 결과는 다음 조항과 일치해야합니다.

(1) 다른 레벨의 이웃 청정 실과 깨끗한 실과 정적 압력 차이 사이의 비 청진 방 사이는 5PA 이상이어야합니다.

2) 깨끗한 실과 실외 정압 차이는 10PA보다 크지 않아야합니다.

(3) 0.6m의 실내 쪽 입구 및 출구의 열린 도어 상태에있는 100 수준의 단방향 흐름 층류 클리닝 룸은 실내 수준의 농도의 상한보다 더 측정되어서는 안됩니다.

3 air 공기 필터의 누출

(1) 기기 및 환경 측정 기기 먼지 입자 카운터, 에어로졸 발전기. 실온 또는 설계 온도에서의 주변 온도.

(2) 현장 제조업체에 들어가기 전에 고효율 필터 본문의 샘플링은 성능 테스트를 수행하고 규정 준수 증명서를 제공해야합니다. 단방향 흐름 청정 실에 설치된 고효율 에어 필터는 누출을 하나씩 테스트해야합니다.

(3) 작동 프로세스 및 필터의 누출은 완성 된 에어 필터 누출 테스트의 설치가 빈 상태 또는 정적 청소실에 적용되는 것입니다. 여과를위한 스캐닝 방법의 적용의 공급 및 배기 공기 끝에 설치된 고효율 필터 설치, 국경의 설치 및 누출 감지기 방법의 전체 단면 누출 스캐닝 방법 및 샘플링 부피 입자 카운터 방법 2의 최소 1L/분. 여기서 입자 카운터 방법은 누설 감지에 사용됩니다.

(1) 검사 필터는 조작의 80% ~ 120% 사이의 설계 공기 속도의 공기 부피를 측정해야합니다.

(2) 입자 카운터는 고효율 필터의 누출을 점검하는 데 사용됩니다.

상향식 측면은 대기 먼지 또는 기타 에어로졸 먼지 공기의 균일 한 농도를 도입해야합니다. 0.5μm보다 큰 먼지 입자의 농도는 3.5 × 105pc/m3보다 크거나 동일해야합니다. 또는 0.1μm보다 큰 먼지 입자의 농도는 클래스 D 고효율 필터의 검출이 0.1μm 먼지 입자 농도의 검출이 OR보다 크기가 더 커야하는 경우 3.5 × 107pc/m3보다 크거나 동일해야합니다. 3.5 × 109pc/m3입니다.

(3) 누출 감지는 5 ~ 20mm/s의 속도로 검사되는 필터의 표면에서 2 ~ 3cm 거리에서 샘플링 포트에 배치하여 검사중인 필터의 전체 섹션을 검사하고 헤더 접착제 및 설치 금형 프레임 및 스캔시 프레임 설치. 스캐닝 과정에서, 카운트가 갑자기 증가하는 부분이 반점 검사되고 누출 현상이 발견되어야합니다. 즉, 누출은 실리콘 고무로 패치되어야합니다. 또는 고효율 필터를 교체해야합니다.



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